[发明专利]透明导电薄膜及其制备方法、显示基板和显示装置

摘要

本发明提供一种透明导电薄膜及其制备方法、显示基板和显示装置。该透明导电薄膜包括种子膜层和纳米线膜层，其制备方法包括：采用脉冲激光沉积的方法在基板上形成种子膜层，采用脉冲激光沉积的方法在种子膜层上形成纳米线膜层。该纳米线膜层具有特殊的一维纳米线结构，不仅能够提高透明导电薄膜的光透过率，从而提高了光能的利用率；而且能够使电荷迅速收集并沿一维纳米线构成的一维通道直接传输，提高电荷的收集效率。采用该透明导电薄膜的显示基板，不仅透光率大大提高；而且充电时间明显缩短，响应速度大大提高。过渡族金属氧化物替代铟材料的使用，降低了产品成本。

主权项

一种透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，所述透明导电薄膜包括种子膜层和纳米线膜层，所述制备方法包括：步骤S1：采用脉冲激光沉积的方法在基板上形成所述种子膜层，所述种子膜层包括均匀分布的纳米晶粒；步骤S2：采用脉冲激光沉积的方法在所述种子膜层上形成所述纳米线膜层，所述纳米线膜层包括多个平行排列的一维纳米线。