[发明专利]一种电极加热极及其加工工艺有效
| 申请号： | 201310491824.9 | 申请日： | 2013-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN103545353A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 徐利辉;王杉;邓晓清;李朝阳 | 申请（专利权）人： | 四川飞阳科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/41 | 分类号： | H01L29/41;H01L21/28 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王学强;魏晓波 |
| 地址： | 610209 四川省成都市双*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种电极加热极及其加工工艺，包括基材、加热极层、隔离层和电极层，加热极层通过淀积方式覆在基材上，加热极层上还淀积有二氧化硅隔离层，金属电极层通过淀积方式包覆在加热极层和隔离层上，隔离层上部的电极层通过刻蚀去除。本发明利用二氧化硅的刻蚀速率与金属刻蚀速率差异较大的原理在电极层与加热极层之间增加一层二氧化硅隔离层，在进行电极层的刻蚀时起到了良好的保护作用，有效避免加热极层遭到刻蚀，保证了加热极层的完整性，极大的降低了控制刻蚀时间精度的难度，提高了产品的加热极性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 加热 及其 加工 工艺 | ||
【主权项】：
一种电极加热极，包括基材（1）、加热极层（2）、隔离层（3）和电极层（4），其特征在于，加热极层（2）通过淀积方式覆在基材（1）上，加热极层（2）上还淀积有隔离层（3），电极层（4）通过淀积方式包覆在加热极层（2）和隔离层（3）上，隔离层（3）上部的电极层（4）通过刻蚀去除。
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