[发明专利]基板支撑装置无效
| 申请号： | 201310488583.2 | 申请日： | 2013-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN103500727A | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 王云靖;刘滔滔;郭世佳 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 赵根喜;李昕巍 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板支撑装置，所述基板支撑装置包括一工作平台，用以支撑一基板；以及一中央支架和角部支架，用于将所述基板移入或移出所述工作平台，所述中央支架设置在所述工作平台上，包括第一升降支撑柱、一纵杆和多个横杆，所述纵杆连接于所述第一升降支撑柱一端，所述多个横杆设置在所述纵杆上，所述第一升降支撑柱垂直于所述纵杆和所述多个横杆所在的平面并可升降地支撑所述纵杆和所述多个横杆；所述角部支架设置在所述工作平台的角部，每个角部支架包括第二升降支撑柱和垂直连接于所述第二升降支撑柱一端的顶杆，所述顶杆与所述纵杆共面。本发明支撑面更大，大大减少了玻璃基板的弯曲量。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 装置 | ||
【主权项】：
一种基板支撑装置，所述基板支撑装置包括一工作平台，用以支撑一基板；以及一中央支架和角部支架，用于将所述基板移入或移出所述工作平台，其特征在于，所述中央支架设置在所述工作平台上，包括第一升降支撑柱、一纵杆和多个横杆，所述纵杆连接于所述第一升降支撑柱一端，所述多个横杆设置在所述纵杆上，所述第一升降支撑柱垂直于所述纵杆和所述多个横杆所在的平面并可升降地支撑所述纵杆和所述多个横杆；所述角部支架设置在所述工作平台的角部，每个角部支架包括第二升降支撑柱和垂直连接于所述第二升降支撑柱一端的顶杆，所述顶杆与所述纵杆共面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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