[发明专利]基板支撑装置

权利要求书

1.一种基板支撑装置，所述基板支撑装置包括一工作平台，用以支撑一基板；以及一中央支架和角部支架，用于将所述基板移入或移出所述工作平台，其特征在于，

所述中央支架设置在所述工作平台上，包括第一升降支撑柱、一纵杆和多个横杆，所述纵杆连接于所述第一升降支撑柱一端，所述多个横杆设置在所述纵杆上，所述第一升降支撑柱垂直于所述纵杆和所述多个横杆所在的平面并可升降地支撑所述纵杆和所述多个横杆；

所述角部支架设置在所述工作平台的角部，每个角部支架包括第二升降支撑柱和垂直连接于所述第二升降支撑柱一端的顶杆，所述顶杆与所述纵杆共面。

2.如权利要求1所述的基板支撑装置，其特征在于，所述多个横杆的数量为3-6个。

3.如权利要求2所述的基板支撑装置，其特征在于，所述多个横杆中相邻横杆之间的间距至少部分不等。

4.如权利要求1-3所述的基板支撑装置，其特征在于，所述多个横杆中各横杆的长度至少部分不同。

5.如权利要求1-3所述的基板支撑装置，其特征在于，所述多个横杆包括依次排列且自所述纵杆向所述纵杆两侧延伸的第一横杆、第二横杆、第三横杆和第四横杆，所述第二横杆的长度等于所述第三横杆的长度，所述第一横杆的长度等于所述第四横杆的长度，所述第一横杆的长度大于所述第二横杆的长度。

6.如权利要求1-3所述的基板支撑装置，其特征在于，所述第一升降支撑柱为一对，设置于所述纵杆的两端；或者所述第一升降支撑柱为三个，均匀的分布于所述纵杆纵向。

7.如权利要求1-3所述的基板支撑装置，其特征在于，所述中央支架一体成型，和/或所述角部支架一体成型。

8.如权利要求1-3所述的基板支撑装置，其特征在于，所述工作平台包括用于支撑所述基板的固定柱，所述纵杆、所述多个横杆及所述顶杆的厚度均小于所述固定柱的高度。

9.如权利要求1-3所述的基板支撑装置，其特征在于，所述工作平台包括用于容置所述纵杆、所述多个横杆及所述顶杆的凹槽。