[发明专利]基板运输设备及运输方法

摘要

本发明涉及一种基板运输设备及运输方法，其中该设备包括用于装载基板的卡匣与用于搬运卡匣的搬运机，沿垂直于搬运机运动方向依次设置有用于处理卡匣的第一处理室和第二处理室；基板运输设备还包括设置在所述第一处理室和第二处理室之间，用于驱动所述卡匣从所述第一处理室移至所述第二处理室的第一输送带。实施本发明，搬运机只要将卡匣搬运到输入口之后即可完成在第一处理室和第二处理室的工艺流程，中间无需搬运机进行处理，从而减少了搬运机的搬运量，减少了基板生产周期时间，提供了产能。

主权项

一种基板运输设备，包括用于装载基板的卡匣（200）与用于搬运卡匣（200）的可移动的搬运机（100），其特征在于，所述基板运输设备还包括用于处理卡匣（200）的第一处理室（300）和第二处理室（400），所述第一处理室（300）和所述第二处理室（400）设置在所述搬运机（100）的移动方向的同一侧，所述第一处理室（300）与所述搬运机（100）的距离小于所述第二处理室（400）与所述搬运机（100）的距离；以及设置在所述第一处理室（300）和第二处理室（400）之间的，用于驱动所述卡匣（200）从所述第一处理室（300）移至所述第二处理室（400）的第一输送带（501）。