[发明专利]利用压差在微通道板侧壁沉积薄膜的装置和使用方法

摘要

本发明公开了一种利用压差在微通道板侧壁沉积薄膜的装置和使用方法。它包括正压腔和负压腔，所述的正压腔和负压腔之间为连通通道，正压腔和负压腔上分别设有进气口和出气口；连通通道的中间位置设置有固定微通道板的卡托；所述的正压腔和负压腔内注有溶胶液体。本发明利用微通道板两侧的压强差，实现所需沉积薄膜材料的溶胶液体在微通道内的流动，然后对粘附在微通道侧壁上的溶胶进行高温处理，从而实现薄膜在微通道板侧壁上的沉积。单层沉积的薄膜厚度，取决于溶胶浓度和微通道板两侧的压强差。本发明解决了使所需沉积薄膜材料的溶胶液体在狭小尺寸的微通道内实现定向流动的难题，进而实现了其薄膜材料在微通道板侧壁上的沉积。

主权项

一种利用压差在微通道板侧壁沉积薄膜的装置，其特征在于：包括正压腔和负压腔，所述的正压腔和负压腔之间为连通通道，正压腔和负压腔上分别设有进气口和出气口；连通通道的中间位置设置有固定微通道板的卡托；所述的正压腔和负压腔内注有溶胶液体。