[发明专利]沉积设备、有机发光显示设备及其制造方法在审
| 申请号： | 201310472801.3 | 申请日： | 2013-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN104073761A | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 崔云铉;金京汉;崔明焕;吴京原 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;H01L51/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩芳;张川绪 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 为了改善沉积层的特性，提供了一种用于在基板上沉积沉积材料的沉积设备，所述沉积设备包括：沉积源，面对基板并排出沉积材料；图案化缝隙片，包括用于以期望的图案沉积沉积材料的图案化缝隙并被设置成面对基板；框架，连接到图案化缝隙片；以及台阶，结合到框架，以支撑框架，其中，分离区域形成在框架和台阶之间。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 设备 有机 发光 显示 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在基板上沉积沉积材料的沉积设备，所述沉积设备包括：沉积源，面对基板并被构造成排出沉积材料；图案化缝隙片，面对基板并包括被构造成以期望的图案沉积沉积材料的图案化缝隙；框架，接合到图案化缝隙片；以及台阶，结合到框架，以支撑框架，其中，分离区域形成在框架和台阶之间。
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