[发明专利]提高除杂效果的多晶硅定向凝固方法及其装置有效
| 申请号： | 201310449038.2 | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN103466630A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 姜大川;刘子成;谭毅 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于多晶硅提纯领域，具体涉及一种提高除杂效果的多晶硅定向凝固方法及其装置。通过在现有设备中增加一个曲形石墨加热器，当硅液定向凝固到75～85%时，在石英坩埚上方的曲形石墨加热器通过辐射散热影响上部硅液，从而增大石英坩埚内固液界面的弯曲程度。本发明的优点在于：（1）金属杂质在定向凝固后的硅锭中分布具有方向性，便于切除，减少尾部废料的切除率；（2）设备改造简单，在现有设备的基础上，只需要在石英坩埚上方增加曲形石墨加热器即可，成本控制好；（3）减少了原料的浪费，大大缩减了多晶硅原料的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 效果 多晶 定向 凝固 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种提高除杂效果的多晶硅定向凝固方法，在真空环境下将多晶硅原料加热熔化形成硅液，然后充入氩气，通过拉锭机构对硅液进行定向凝固，其特征在于当硅液定向凝固到75～85%时，在石英坩埚上方的曲形石墨加热器开始加热升温，在2～3h内升至1410～1415℃，且曲形石墨加热器向下运动速度与石英坩埚的拉锭速度一致，从而增大石英坩埚内固液界面的弯曲程度。
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