[发明专利]提高除杂效果的多晶硅定向凝固方法及其装置

权利要求书

1.一种提高除杂效果的多晶硅定向凝固方法，在真空环境下将多晶硅原料加热熔化形成硅液，然后充入氩气，通过拉锭机构对硅液进行定向凝固，其特征在于当硅液定向凝固到75～85%时，在石英坩埚上方的曲形石墨加热器开始加热升温，在2～3h内升至1410～1415℃，且曲形石墨加热器向下运动速度与石英坩埚的拉锭速度一致，从而增大石英坩埚内固液界面的弯曲程度。

2.根据权利要求1所述的提高除杂效果的多晶硅定向凝固方法，其特征在于曲形石墨加热器的最低处与石英坩埚上沿的垂直间距为5～15cm。

3.一种权利要求1所述的提高除杂效果的多晶硅定向凝固装置，包括炉体，炉体内放置有石英坩埚，石英坩埚外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体、保温套筒和感应线圈，石英坩埚底部设置有与炉体底部通连的拉锭机构，其特征在于炉体与保温套筒之间竖直通连有石墨管，该石墨管下方连接有曲形石墨加热器，该曲形石墨加热器位于保温套筒和石英坩埚之间，位于炉体外上方的石墨管上连接有驱动机构。

4.根据权利要求3所述的提高除杂效果的多晶硅定向凝固装置，其特征在于曲形石墨加热器为凹形或者凸形。

5.根据权利要求3所述的提高除杂效果的多晶硅定向凝固装置，其特征在于驱动机构包括位于石墨管顶端依次连接的螺母和电动缸。

6.根据权利要求3所述的提高除杂效果的多晶硅定向凝固装置，其特征在于曲形石墨加热器的曲率半径为8～9m。