[发明专利]一种片盒升降装置、传输系统及半导体加工设备

摘要

本发明涉及片盒升降装置、传输系统及半导体加工设备。片盒升降装置包括升降机构、连接件和连杆，其中，连杆与片盒连接；升降机构通过连接件与连杆连接，在升降机构的驱动下，连杆带动所述片盒作升降运动；在连杆的下端形成有连接部，且连接部的径向截面各个方向的外径不完全相同；并且，在连接件上设置有通孔，通孔的径向截面的轮廓与连接部的径向截面的轮廓相对应，且通孔与连接部相配合；连接件包括相互独立的至少两个分体，至少两个分体串接形成通孔；在连接部上设置有第一阻挡部和第二阻挡部，二者分别与连接件的上端和下端相接触，用以阻挡连接件与连杆在连杆的轴向上相对移动。上述片盒升降装置限制了连杆在其周向上的角度及轴向上的位置。

主权项

一种片盒升降装置，包括升降机构、连接件和连杆，其中，所述连杆与片盒连接；所述升降机构通过所述连接件与所述连杆连接，在所述升降机构的驱动下，所述连杆带动所述片盒作升降运动，其特征在于，在所述连杆的下端形成有连接部，且所述连接部的径向截面各个方向的外径不完全相同；并且，在所述连接件上设置有通孔，所述通孔的径向截面的轮廓与所述连接部的径向截面的轮廓相对应，且所述通孔与所述连接部相配合；所述连接件包括相互独立的至少两个分体，所述至少两个分体串接形成所述通孔；在所述连接部上设置有第一阻挡部和第二阻挡部，二者分别与所述连接件的上端和下端相接触，用以阻挡所述连接件与所述连杆在所述连杆的轴向上相对移动。