[发明专利]一种离子注入机法拉第杯自动换档的控制方法无效
| 申请号： | 201310415466.3 | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN104465288A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 万伟 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子注入机法拉第杯自动换档的控制方法，包括：一个放大器(G)，3个电阻(A、B、C)，3个开关(D、E、F)。换档有3个量程，分别为100mA、10mA、1mA，通过比较得到的束流值，用这3个档位，从模拟量到数字量，在数字量到确定的档位，得到最适合的档位。通过法拉第杯的自动换档，开始时用最大档位，在比较实际束流值与档位之间的相差值，得到最适合的档位，用这3个量程的使得到的束流值更加准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 法拉第 自动 换档 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种离子注入机法拉第杯自动换档的控制方法，其特征在于：通过法拉第杯的自动换档，增加束流值的精度值。
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