[发明专利]基板的沟槽加工工具及基板用沟槽加工装置在审
| 申请号： | 201310415056.9 | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN103770144A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 山田充;曾山正信 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B26D3/06 | 分类号： | B26D3/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种基板的沟槽加工工具及基板用沟槽加工装置，本发明的课题在于使工具相对于基板相对地往返移动而进行沟槽加工时，使工具的摆动角度较小，且良好地排出切削屑从而使加工品质稳定。本发明的沟槽加工工具由保持具17保持，且用于在基板上与保持具17共同相对地往返移动而在基板形成沟槽的工具，具有由保持具17保持的工具本体36、及形成于工具本体36的前端部的刀尖部37。刀尖部37具有第1刀38a、第2刀38b、及退避部39。第1刀38a形成于工具本体36的前端部，且形成于移动方向的去向移动侧的前端。第2刀38b形成于来向移动侧的前端。退避部39形成于第1刀38a与第2刀38b之间，且以向工具本体36侧凹陷的方式形成。 | ||
| 搜索关键词： | 沟槽 加工 工具 基板用 装置 | ||
【主权项】：
一种基板的沟槽加工工具，其特征在于：其由保持具摆动自如地保持，且用于在作为加工对象的基板上与该保持具共同相对地往返移动而在基板形成沟槽的沟槽加工工具，且具备：工具本体，其由该保持具保持；及刀尖部，具有：第1刀，其形成于该工具本体的前端部，且形成于移动方向的去向移动侧的前端；第2刀，其形成于来向移动侧的前端；及退避部，其形成于该第1刀与该第2刀之间，且向该工具本体侧凹陷。
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