[发明专利]基板的沟槽加工工具及基板用沟槽加工装置

权利要求书

1.一种基板的沟槽加工工具，其特征在于：其由保持具摆动自如地保持，且用于在作为加工对象的基板上与该保持具共同相对地往返移动而在基板形成沟槽的沟槽加工工具，且具备：

工具本体，其由该保持具保持；及

刀尖部，具有：第1刀，其形成于该工具本体的前端部，且形成于移动方向的去向移动侧的前端；第2刀，其形成于来向移动侧的前端；及退避部，其形成于该第1刀与该第2刀之间，且向该工具本体侧凹陷。

2.根据权利要求1所述的基板的沟槽加工工具，其特征在于：该第1刀及该第2刀均相对于与该工具本体的长度方向的轴正交的基准面，以朝向移动方向离开该基准面的方式倾斜。

3.根据权利要求2所述的基板的沟槽加工工具，其特征在于：该退避部具有：

第1退避面，其形成于该第1刀的该第2刀侧，且相对于该基准面以朝向该第2刀侧离开该基准面的方式倾斜；及

第2退避面，其形成于该第2刀的该第1刀侧，且相对于该基准面以朝向该第1刀侧离开该基准面的方式倾斜。

4.根据权利要求3所述的基板的沟槽加工工具，其特征在于：，该退避部的倾斜角度大于该各刀的倾斜角度。

5.根据权利要求2至4所述的基板的沟槽加工工具，其特征在于：该退避部沿该基准面方向的长度比该第1刀及该第2刀沿该基准面的长度长。

6.根据权利要求2至4所述的基板的沟槽加工工具，其特征在于：该工具本体由摆动自如地支承在该保持具的摆动构件支承；

该第1刀及该第2刀的倾斜角度与该摆动构件的摆动角度相等。

7.根据权利要求1至4所述的基板的沟槽加工工具，其特征在于：该刀尖部以移动方向的宽度越朝向前端越变窄的方式，倾斜且对称地形成有相对向的去向移动侧侧面与来向移动侧的侧面。

8.根据权利要求1至4所述的基板的沟槽加工工具，其特征在于：该刀尖部与移动方向正交的方向的宽度较该工具本体的该方向的宽度窄。

9.一种基板用沟槽加工装置，其特征在于：其用于在基板加工沟槽，且具备：

载台，其载置基板；

头部，其配置于该载台的上方，且具有：安装有申请专利范围第1至8项中任一项的沟槽加工工具的保持具、及用于使该保持具移动在上下方向的驱动部；及

移动机构，其使该头部在与该载台的载置面平行面内，相对于该载台相对地移动。