[发明专利]执行带电粒子显微镜中的样本的断层成像的方法在审
| 申请号： | 201310414456.8 | 申请日： | 2013-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN103681189A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | D.福尔德;R.肖恩马克斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 方世栋;王忠忠 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种执行带电粒子显微镜中的样本的断层成像的方法，包括下面的步骤：–提供带电粒子束；–在能够相对于所述束被倾斜的样本夹持器上提供所述样本；–导向所述束通过所述样本并且以便在图像检测器处形成所述样本的图像；–在第一系列的样本倾斜角的每一个处重复此过程以便获得对应的图像集合；–数学地组合来自所述集合的图像以便构造合成图像，所述方法包括下面的步骤：–选择第二系列的样本倾斜角；–在所述第二系列的样本倾斜角的每一个处，使用频谱检测器来生成所述样本的频谱图，从而获得频谱图的集合；–分析所述频谱图以得到与所述样本有关的合成数据；–在构造所述合成图像中采用所述合成数据，所述频谱图例如可以使用从包括EDX、EELS、EFTEM及其组合的组中选择的技术而被获得。 | ||
| 搜索关键词： | 执行 带电 粒子 显微镜 中的 样本 断层 成像 方法 | ||
【主权项】：
1.一种执行带电粒子显微镜中的样本的断层成像的方法，包括下面的步骤：–提供带电粒子束；–在能够相对于所述束被倾斜的样本夹持器上提供所述样本；–导向所述束通过所述样本并且以便在图像检测器处形成所述样本的图像；–在第一系列的样本倾斜角的每一个处重复此过程以便获得对应的图像集合，由此产生图像正弦图；其特征在于下面的步骤：–选择第二系列的样本倾斜角；–在所述第二系列的样本倾斜角的每一个处，使用频谱检测器来生成所述样本的频谱图，从而获得频谱图的集合；–分析所述频谱图以得到与所述样本有关的合成数据，由此产生元素正弦图；–产生混合正弦图，所述混合正弦图包括所述图像正弦图的至少一些成员以及所述元素正弦图的至少一些成员；–数学地组合来自所述混合正弦图的图像以便构造合成图像。
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