[发明专利]执行带电粒子显微镜中的样本的断层成像的方法

说明书

一种执行带电粒子显微镜中的样本的断层成像的方法，包括下面的步骤：–提供带电粒子束；–在能够相对于所述束被倾斜的样本夹持器上提供所述样本；–导向所述束通过所述样本并且以便在图像检测器处形成所述样本的图像；–在第一系列的样本倾斜角的每一个处重复此过程以便获得对应的图像集合；–数学地组合来自所述集合的图像以便构造合成图像，所述方法包括下面的步骤：–选择第二系列的样本倾斜角；–在所述第二系列的样本倾斜角的每一个处，使用频谱检测器来生成所述样本的频谱图，从而获得频谱图的集合；–分析所述频谱图以得到与所述样本有关的合成数据；–在构造所述合成图像中采用所述合成数据，所述频谱图例如可以使用从包括EDX、EELS、EFTEM及其组合的组中选择的技术而被获得。

本发明涉及执行带电粒子显微镜中的样本的断层成像的方法，包括下面的步骤：

–提供带电粒子束；

–在能够相对于所述束倾斜的样本夹持器上提供所述样本；

–导向所述束通过所述样本并且以致在图像检测器处形成所述样本的图像；

–在第一系列的样本倾斜角中的每一个处重复此过程以便获得相应的图像集合；

–数学地组合来自所述集合的图像以便构造合成图像。

本发明也涉及带电粒子显微镜，其包括：

–带电粒子源，用于产生带电粒子束；

–样本夹持器，用于支持并且定位样本；

–带电粒子透镜系统，用于导向所述束通过所述样本以便形成所述样本的图像；

–图像检测器，用于检测所述图像；

–频谱检测器，用于检测所述样本的频谱。

为了清楚和一致性的目的，如遍及此文本和所附的权利要求所使用的下面的术语应当被解释如下：

-术语“带电粒子”涵盖电子或离子（一般是正离子，诸如例如镓离子或氦离子，尽管负离子也是可能的）。例如，其也可以是质子。

-术语“带电粒子显微镜”（CPM）指的是使用带电粒子束来创建对象、特征或成分的放大的图像的装置，所述对象、特征或成分通常太小以致不能用人的裸眼看到满意的细节。除了具有成像功能性以外，这样的装置也可以具有加工功能性；例如，其可以被用于通过从样本中去除材料（“研磨”或“烧蚀”）或者向样本添加材料（“沉积”）来局部地修整样本。所述成像功能性和加工功能性可以由相同类型的带电粒子来提供，或者可以由不同类型的带电粒子来提供；例如，聚焦离子束（FIB）显微镜可以采用（聚焦的）离子束来用于加工目的并且采用电子束来用于成像目的（所谓的“双束”显微镜），或者其可以用相对高能量的离子束来执行加工并且用相对低能量的离子束来执行成像。

-术语“样本夹持器”指的是可在其上将样本安装并保持在适当的位置的任何类型的桌、平台、臂等等。通常，这样的样本夹持器将被包括在载物台组件中，通过所述载物台组件其可以在若干自由度上被准确地定位，例如通过电致动器的帮助。

-术语“带电粒子透镜系统”指的是一个或多个静电和/或磁透镜的系统，所述一个或多个静电和/或磁透镜可以被用于操纵带电粒子束，用来向其提供一定的聚焦或偏转，例如和/或以缓和其中的一个或多个像差。除了（各种类型的）常规透镜元件之外，所述带电粒子透镜系统（粒子-光柱）也可以包括诸如偏转器、象散校正器、多极、光圈（瞳孔）挡板等等元件。