[发明专利]执行带电粒子显微镜中的样本的断层成像的方法

权利要求书

1.一种执行带电粒子显微镜中的样本的断层成像的方法，包括下面的步骤：

–提供带电粒子束；

–在能够相对于所述束被倾斜的样本夹持器上提供所述样本；

–导向所述束通过所述样本并且以便在图像检测器处形成所述样本的图像；

–在第一系列的样本倾斜角的每一个处重复此过程以便获得对应的图像集合，由此产生图像正弦图；

其特征在于下面的步骤：

–选择第二系列的样本倾斜角；

–在所述第二系列的样本倾斜角的每一个处，使用频谱检测器来生成所述样本的频谱图，从而获得频谱图的集合；

–分析所述频谱图以得到与所述样本有关的合成数据，由此产生元素正弦图；

–产生混合正弦图，所述混合正弦图包括所述图像正弦图的至少一些成员以及所述元素正弦图的至少一些成员；

–数学地组合来自所述混合正弦图的图像以便构造合成图像。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其中使用从包括能量消散X射线频谱学以及电子能量损失频谱学的组中选择的技术来执行所述频谱图的生成，并且所述带电粒子显微镜是扫描透射电子显微镜。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，其中所述技术是EDX并且所述频谱检测器包括被布置在所述样本夹持器周围的多个检测单元。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其中所述带电粒子显微镜是能量过滤的透射电子显微镜。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，其中所述带电粒子显微镜是质子显微镜并且使用质子诱导的X射线放射来执行所述频谱图的生成。

6.如前面的权利要求中的任一项权利要求所述的方法，其特征在于，其中针对对所述第一系列和所述第二系列的样本倾斜角两者共有的至少一个样本倾斜角，所述图像检测器和所述频谱检测器被同时地操作。

7.如权利要求1-5中的任一项权利要求所述的方法，其特征在于，其中在获得所述图像集合中所采用的不同的样本倾斜角的数量在所述频谱图的分析的基础上被选择。

8.一种带电粒子显微镜，包括：

–带电粒子源，用于产生带电粒子束；

–样本夹持器，用于支持并定位样本；

–带电粒子透镜系统，用于导向所述束通过所述样本以便形成所述样本的图像；

–图像检测器，用于检测所述图像；

–频谱检测器，用于检测所述样本的频谱，

所述显微镜被构造并且被布置为执行如在权利要求1-7中的任一项权利要求中所要求权利的方法。