[发明专利]钛铝硅合金靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201310412836.8 | 申请日： | 2013-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN104416157B | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 周武平;姚伟;赵雷;郝权;张路长;孙继洲 | 申请（专利权）人： | 安泰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/04 | 分类号： | B22F3/04;B22F3/14;C22C1/04;C22C21/00;C22C14/00;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 刘春成;张向琨 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种钛铝硅合金靶材的制备方法。该方法包括：制备合金粉末、冷等静压处理、脱气处理、热等静压处理以及机加工步骤。本发明的钛铝硅合金靶材具有致密度高、无气孔和偏析，组织均匀，晶粒细小等优点，适用于多种刀具、模具涂层溅射使用。 | ||
| 搜索关键词： | 钛铝硅 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钛铝硅合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，合金粉末的制备，按所述靶材成分设计要求称取平均粒径为30μm、纯度为99.7％的钛粉83.9份、纯度99.9％的铝粉6.3份、纯度99.9％的硅粉9.8份，在V型混料机中混合4h，混合过程中充入高纯氩气进行保护，所述合金粉末的平均粒径为30μm；步骤二，对制备好的所述合金粉末进行冷等静压处理，在20MPa压力下进行冷等静压处理，保压时间为30min；步骤三，将所述冷等静压处理后的料坯装入尺寸合适的不锈钢包套中，将包套放置在脱气设备中进行脱气处理，加热温度为400℃，保温时间为5h；保温时真空度控制在10‑4Pa；步骤四，对所述脱气处理后的料坯进行热等静压处理，所述热等静压处理的保温温度为800℃，保温时间为2h，压力为140MPa；步骤五，对所述热等静压处理后的料坯进行机加工，清洗后得到所需要的成品合金靶材，所述成品合金靶材尺寸为1100*150*20mm；其中，所述成品合金靶材按原子百分比由以下成分组成：钛75％，铝10％，硅15％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安泰科技股份有限公司，未经安泰科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310412836.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
