[发明专利]钛铝硅合金靶材的制备方法

权利要求书

1.一种钛铝硅合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，合金粉末的制备，按所述靶材成分设计要求称取平均粒径为30μm、纯度为99.7％的钛粉83.9份、纯度99.9％的铝粉6.3份、纯度99.9％的硅粉9.8份，在V型混料机中混合4h，混合过程中充入高纯氩气进行保护，所述合金粉末的平均粒径为30μm；

步骤二，对制备好的所述合金粉末进行冷等静压处理，在20MPa压力下进行冷等静压处理，保压时间为30min；

步骤三，将所述冷等静压处理后的料坯装入尺寸合适的不锈钢包套中，将包套放置在脱气设备中进行脱气处理，加热温度为400℃，保温时间为5h；保温时真空度控制在10^-4Pa；

步骤四，对所述脱气处理后的料坯进行热等静压处理，所述热等静压处理的保温温度为800℃，保温时间为2h，压力为140MPa；

步骤五，对所述热等静压处理后的料坯进行机加工，清洗后得到所需要的成品合金靶材，所述成品合金靶材尺寸为1100*150*20mm；其中，所述成品合金靶材按原子百分比由以下成分组成：钛75％，铝10％，硅15％。