[发明专利]具有冷却剂气体孔洞的紫外线反射器及方法

摘要

一种用于紫外线灯的反射器，该紫外线灯可在基材处理设备中使用。该反射器包含在该紫外线灯长度上延伸的纵向带。该纵向带具有一弯曲反射表面并且包含数个通孔以将冷却剂气体导向该紫外线灯。在此亦描述使用具有反射器的紫外线灯模块的腔室以及紫外线处理的方法。

主权项

一种用于紫外线灯的紫外线灯反射器，所述反射器包括：（a）置于中央的反射器，所述置于中央的反射器包括纵向带，所述纵向带具有：（i）多个通孔，所述多个通孔在所述纵向带中以导引冷却剂气体朝向所述紫外线灯，以及（ii）弯曲反射表面，所述弯曲反射表面具有二向色性涂层；以及（b）第一和第二侧反射器，所述第一和第二侧反射器位于所述置于中央的反射器的各侧上以与所述置于中央的反射器形成抛物线型表面，所述第一和第二侧反射器各自包含具有所述二向色性涂层的弧形反射表面。