[发明专利]具有冷却剂气体孔洞的紫外线反射器及方法

权利要求书

1.一种用于紫外线灯的紫外线灯反射器，所述反射器包括：

（a）置于中央的反射器，所述置于中央的反射器包括纵向带，所述纵向带具有：

（i）多个通孔，所述多个通孔在所述纵向带中以导引冷却剂气体朝向所述紫外线灯，以及

（ii）弯曲反射表面，所述弯曲反射表面具有二向色性涂层；以及

（b）第一和第二侧反射器，所述第一和第二侧反射器位于所述置于中央的反射器的各侧上以与所述置于中央的反射器形成抛物线型表面，所述第一和第二侧反射器各自包含具有所述二向色性涂层的弧形反射表面。

2.如权利要求1所述的反射器，其中所述二向色性涂层反射由所述UV灯发射的紫外线光，并且通过具有其他波长的光。

3.如权利要求1所述的反射器，其中所述二向色性涂层包括由不同介电材料组成的多层薄膜。

4.如权利要求1所述的反射器，其中所述二向色性涂层包括具有第一折射率的第一材料层、以及具有第二折射率的第二材料层，所述第二折射率低于所述第一折射率。

5.如权利要求1所述的反射器，其中所述第一和第二侧反射器与所述置于中央的反射器形成抛物线型表面，所述抛物线型表面横切所述纵向带的长度相会于顶点。

6.如权利要求1所述的反射器，其中所述纵向带在所述紫外线灯的长度上延伸。

7.如权利要求1所述的反射器，其中所述弯曲反射表面包含至少约2cm的曲率半径。

8.如权利要求1所述的反射器，其中所述多个通孔包括具有第一直径的第一孔洞、以及具有第二直径的第二孔洞，所述第一直径大于所述第二直径。

9.如权利要求1所述的反射器，其中所述多个通孔包含呈角度或倾斜的边缘。

10.如权利要求1所述的反射器，其中所述纵向带包括一对端部凸耳。

11.如权利要求10所述的反射器，包括聚合端部支架，所述聚合端部支架各自具有调整大小以装入端部支架的截去部位。

12.如权利要求1所述的反射器，包含石英。

13.一种反射器组件，包括如权利要求1所述的反射器，其中所述置于中央的反射器以及所述第一和第二侧反射器构成主要反射器，并且进一步包括次要反射器，所述次要反射器包含上层及下层区段，每一区段包括具有末端的相对的纵向表面，并且相对横切表面在所述纵向表面的末端之间延伸。

14.一种紫外线灯模块，包括如权利要求13所述的反射器组件，并且进一步包括狭长的紫外线灯。

15.一种基材处理腔室，包括：

（1）基材支撑件；以及

（2）如权利要求14所述的紫外线灯模块。

16.一种基材处理腔室，包括：

（a）基材支撑件；以及

（b）紫外线灯模块，包括：

（i）狭长的紫外线灯，所述紫外线灯与所述基材支撑件隔开，所述紫外线灯被配置成朝着所述基材支撑件传输紫外线光；以及

（ii）主要反射器，包括：

（1）置于中央的反射器，所述置于中央的反射器包括纵向带，所述纵向带具有在所述纵向带中的多个通孔以及弯曲反射表面，所述弯曲反射表面具有二向色性涂层；以及

（2）第一和第二侧反射器，所述第一和第二侧反射器位于所述置于中央的反射器的各侧上以与所述置于中央的反射器形成抛物线型表面，所述第一和第二侧反射器各自包含具有所述二向色性涂层的弧形反射表面。

17.如权利要求16所述的腔室，其中所述二向色性涂层反射由所述UV灯发射的紫外线光，并且通过具有其他波长的光。

18.如权利要求16所述的腔室，其中所述二向色性涂层包括由不同介电材料组成的多层薄膜。

19.如权利要求16所述的腔室，其中所述二向色性涂层包括具有第一折射率的第一材料层、以及具有第二折射率的第二材料层，所述第二折射率低于所述第一折射率。

20.如权利要求16所述的腔室，其中所述置于中央的反射器包含石英。