[发明专利]透射型大口径元件相位测量装置和测量方法

摘要

一种透射型大口径光学元件相位测量装置和测量方法，准平行光经过透镜后形成的会聚球面波作为照明光，移动随机相位板，并在相位板后一定距离处用探测器记录相位板在不同位置时的衍射光斑，通过计算机进行迭代运算的方式获得相位板的复振幅透过率函数及其表面照明光光场分布，再将照明光的振幅和相位分布逆传播至透镜后表面处，求得该处光场分布；将待测光学元件放到透镜前表面，重复上述过程，求得透镜后表面光场分布。求出两次测量结果的相位差，即为待测光学元件的相位。本方案测量尺寸不受探测器尺寸的限制，此外，由于采用的是两次测量求相位差的方式进行测量，因此对于光路照明光质量的要求大大降低，适用范围广泛。

主权项

一种透射型大口径元件相位测量装置，其特征在于:该装置由相干光源(1)、反射镜(2)、扩束器(3)、会聚透镜(5)、随机相位板(6)、二维电动平移台(7)、探测器(8)和计算机(9)组成，沿所述的相干光源(1)发出的光方向依次是所述的反射镜(2)、扩束器(3)、透镜(5)、随机相位板(6)和探测器(8)，所述的随机相位板(6)置于所述的二维电动平移台(7)上并垂直于光束的入射方向，在靠近所述的会聚透镜(5)前设有待测光学元件(4)的插口或置放台，所述的探测器(8)输出端与所述的计算机(9)的输入端相连，所述的计算机(9)的输出端与所述的二维电动平移台(7)的控制端相连。