[发明专利]利用制造设备的传感器数据的成品率分析系统及方法有效
| 申请号： | 201310382057.8 | 申请日： | 2013-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN104216349B | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 申启荣;林钟承;安大中;闵胜载;李种晧 | 申请（专利权）人： | 三星SDS株式会社 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人： | 张云珠,戴嵩玮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种产品的制造工艺分析系统及装置。根据本发明的一实施例的产品的成品率分析系统包括数据提取单元，从设置于产品的制造设备的多个传感器提取传感器数据；基准信号生成单元，从所述传感器数据生成针对所述多个传感器中的每个传感器的基准信号；以及传感器检测单元，利用所述传感器数据以及所述基准信号，检测出与所述产品的成品率存在相关关系的一个以上传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 制造 设备 传感器 数据 成品率 分析 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种成品率分析系统，其中，包括：数据提取单元，从设置于产品的制造设备而检测所述制造设备的状态变化的多个传感器中的每个传感器提取传感器数据，并获取由所述制造设备生产的产品的优良/不良判定信息；基准信号生成单元，基于所述产品的优良/不良判定信息，从所述传感器数据生成针对所述多个传感器中的每个传感器的基准信号；预处理单元，执行包括针对所述传感器数据以及所述基准信号的压缩的预处理；以及传感器检测单元，利用所述传感器数据以及所述基准信号，检测出所述多个传感器中与所述产品的成品率存在相关关系的一个以上传感器，所述基准信号生成单元对每个所述传感器，利用所述产品的优良/不良判定信息，将被压缩的所述传感器数据分类为正常组以及不良组中的一种。
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