[发明专利]用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法在审
| 申请号： | 201310379615.5 | 申请日： | 2013-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104422561A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 顾坚俭;徐伯强 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 徐丁峰;付伟佳 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法。该检测设备包括：承载装置、多个固定装置和压力输送装置。承载装置上设置有多个通孔；多个固定装置分别与多个通孔相对应，多个固定装置构造为能够在承载装置的第一表面将多个压力传感器分别固定至多个通孔处，且通孔构造为能够暴露压力传感器的受压面的至少一部分；压力输送装置具有进气口和出气口，承载装置密封连接至出气口，且承载装置的与第一表面相对的第二表面面向压力输送装置，使得压力传感器的受压面面向压力输送装置。该检测设备可以一次完成对多个压力传感器的检测，安装方便，结构简单并且有利于提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 压力传感器 检测 设备 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种用于压力传感器的检测设备，所述检测设备包括：承载装置，其上设置有多个通孔；多个固定装置，其分别与多个所述通孔相对应，多个所述固定装置构造为能够在所述承载装置的第一表面将多个压力传感器分别固定至多个所述通孔处，且所述通孔构造为能够暴露所述压力传感器的受压面的至少一部分；压力输送装置，所述压力输送装置具有进气口和出气口，所述承载装置密封连接至所述出气口，且所述承载装置的与所述第一表面相对的第二表面面向所述压力输送装置，使得所述压力传感器的受压面面向所述压力输送装置。
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