[发明专利]用于压力传感器的检测设备、检测系统以及检测方法

权利要求书

1.一种用于压力传感器的检测设备，所述检测设备包括：

承载装置，其上设置有多个通孔；

多个固定装置，其分别与多个所述通孔相对应，多个所述固定装置构造为能够在所述承载装置的第一表面将多个压力传感器分别固定至多个所述通孔处，且所述通孔构造为能够暴露所述压力传感器的受压面的至少一部分；

压力输送装置，所述压力输送装置具有进气口和出气口，所述承载装置密封连接至所述出气口，且所述承载装置的与所述第一表面相对的第二表面面向所述压力输送装置，使得所述压力传感器的受压面面向所述压力输送装置。

2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，每个所述固定装置均包括密封件，所述密封件上设有开孔，所述开孔与所述通孔对准，所述密封件在所述压力传感器安装至所述检测设备的安装状态下在所述通孔处设置在所述压力传感器和所述承载装置之间。

3.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述固定装置包括套筒和盖体，所述套筒围绕所述通孔固定在所述承载装置上，用于容置所述压力传感器，所述盖体可拆卸地连接在所述套筒上，所述盖体在所述压力传感器安装至所述检测设备的安装状态下压靠所述压力传感器。

4.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述固定装置还包括弹性件，所述弹性件设置在所述盖体的朝向所述套筒的一侧，所述弹性件构造为在所述安装状态下能够将所述压力传感器朝向所述承载装置偏压。

5.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述套筒与所述盖体螺接。

6.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置螺接至所述压力输送装置的所述出气口。

7.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置与所述压力输送装置一体地形成。

8.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置和所述压力输送装置是由金属材料制成的。

9.一种用于压力传感器的检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：

如权利要求1-8中任一项所述的检测设备；

灵敏度检测装置，所述灵敏度检测装置用于分别检测安装在所述检测设备上的压力传感器的灵敏度；以及

压力源，所述压力源连接至所述压力输送装置的所述进气口，用于向所述压力输送装置内输入气体。

10.一种使用如权利要求9所述的检测系统检测压力传感器的灵敏度的方法，所述方法包括以下步骤：

通过多个所述固定装置分别将多个压力传感器安装至所述承载装置的所述第一表面，且所述压力传感器的受压面由所述通孔暴露；

将所述压力传感器分别与所述灵敏度检测装置连接；

将所述压力输送装置的所述进气口与所述压力源连接；

通过所述进气口向所述压力输送装置内输入气体；

当所述压力输送装置内的压力稳定后，监测所述灵敏度检测装置的读数。