[发明专利]一种镀膜炉管有效
申请号: | 201310378488.7 | 申请日: | 2013-08-27 |
公开(公告)号: | CN104419909A | 公开(公告)日: | 2015-03-18 |
发明(设计)人: | 朱小琴 | 申请(专利权)人: | 茂迪(苏州)新能源有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/455 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 215300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种镀膜炉管,包括:管体;前炉门,位于所述管体的一侧,其中,所述前炉门上设有至少一个喷嘴,且所述喷嘴具有多个进气孔;以及后炉门,位于所述管体的另一侧且与所述前炉门彼此相对,其中,所述后炉门中央区域设有电极单元,且所述后炉门还设有环绕所述电极单元的多个出气孔。本发明针对在镀膜炉管不同地方的膜厚分布为X型分布的特点,在便于石墨舟进出的前提下,进行喷嘴、进气孔、出气孔的排列方式和炉管大小变化等设计,可以大大提高气体在镀膜炉管不同区域的均匀性,从而提高整管镀膜的均匀性,提升电池外观水平。本发明的镀膜炉管制作简单,成本较低,适用于工业生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 镀膜 炉管 | ||
【主权项】:
一种镀膜炉管,其特征在于,至少包括:一个管体;一个前炉门,位于所述管体的一侧;至少一个喷嘴,设于靠近所述前炉门处,且所述喷嘴具有多个进气孔;以及后炉门,位于所述管体的另一侧且与所述前炉门彼此相对,其中,所述后炉门中央区域设有一个电极单元,且所述后炉门还设有环绕所述电极单元的多个出气孔。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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