[发明专利]一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体的退火工艺无效
| 申请号： | 201310362888.9 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN103540998A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 熊亮亮;曾锡强 | 申请（专利权）人： | 曾锡强 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20;C30B33/02 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 314300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体的退火工艺，在泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体完成后，保持单晶炉内真空度，逐步降低加热器功率，降温分为五个阶段，直至加热器功率为零；分阶段保温退火可有效降低大尺寸蓝宝石的位错密度，消除晶体内应力，提高晶体质量和利用率；退火时间短，降低了能耗，缩短了大尺寸蓝宝石晶体的生长周期；在保温阶段旋转蓝宝石晶体，使蓝宝石晶体退火均匀，消除退火时温度场不均的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 泡生法 生长 尺寸 蓝宝石 晶体 退火 工艺 | ||
【主权项】：
一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体的退火工艺，其特征在于，在泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体完成后，保持单晶炉内真空度，逐步降低加热器功率，降温分为五个阶段，直至加热器功率为零；第一阶段：降低加热器功率，以15‑20℃/h的速率降温至单晶炉内温度为1800℃，保温6‑8h；第二阶段：降低加热器功率，以20‑25℃/h的速率降温至单晶炉内温度为1500℃，保温4‑6h；第三阶段：降低加热器功率，以20‑25℃/h的速率降温至单晶炉内温度为1150℃，保温2‑4h；第四阶段：降低加热器功率，以25‑30℃/h的速率降温至单晶炉内温度为500℃，保温1‑2h；第五阶段：降低加热器功率，以30‑35℃/h的速率降温，至加热器功率为零，然后关闭电源。
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