[发明专利]一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体的退火工艺无效
| 申请号： | 201310362888.9 | 申请日： | 2013-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN103540998A | 公开（公告）日： | 2014-01-29 |
| 发明（设计）人： | 熊亮亮;曾锡强 | 申请（专利权）人： | 曾锡强 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20;C30B33/02 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 314300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 泡生法 生长 尺寸 蓝宝石 晶体 退火 工艺 | ||
1.一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体的退火工艺，其特征在于，在泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体完成后，保持单晶炉内真空度，逐步降低加热器功率，降温分为五个阶段，直至加热器功率为零；
第一阶段：降低加热器功率，以15-20℃/h的速率降温至单晶炉内温度为1800℃，保温6-8h；
第二阶段：降低加热器功率，以20-25℃/h的速率降温至单晶炉内温度为1500℃，保温4-6h；
第三阶段：降低加热器功率，以20-25℃/h的速率降温至单晶炉内温度为1150℃，保温2-4h；
第四阶段：降低加热器功率，以25-30℃/h的速率降温至单晶炉内温度为500℃，保温1-2h；
第五阶段：降低加热器功率，以30-35℃/h的速率降温，至加热器功率为零，然后关闭电源。
2.根据权利要求1所述的一种泡生法生长大尺寸蓝宝石晶体的退火工艺，其特征在于，在第五阶段关闭电源后，通入惰性气体，快速冷却至室温。
3.根据权利要求2所述的一种泡生法生产大尺寸蓝宝石晶体的退火工艺，其特征在于，所述惰性气体为高纯氩气，压力值为1-1.5个标准大气压。
4.根据权利要求1或2所述的一种泡生法生产大尺寸蓝宝石晶体的退火工艺，其特征在于，在保温时，以0.5-4rpm的速度旋转蓝宝石晶体。
5.根据权利要求4所述的一种泡生法生产大尺寸蓝宝石晶体的退火工艺，其特征在于，第一阶段保温时，以0.5-1rpm的速度旋转蓝宝石晶体；第二阶段保温时，以1.1-1.5rpm的速度旋转蓝宝石晶体；第三阶段保温时，以1.6-2rpm的速度旋转蓝宝石晶体；第四阶段保温时，以2.1-3rpm的速度旋转蓝宝石晶体；第五阶段保温时，以3.1-4rpm的速度旋转蓝宝石晶体。
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