[发明专利]偏振光照射装置无效
| 申请号： | 201310351785.2 | 申请日： | 2013-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN103792732A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 前田祥平;野村博 | 申请（专利权）人： | 东芝照明技术株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明;张洋 |
| 地址： | 日本神奈川县横*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种偏振光照射装置，其可实现高偏光消光比、均匀的偏光方位及宽照射面积的。偏振光照射装置包括射出紫外光的光源部、使所述紫外光平行化的平行光形成部、及偏振光形成部。所述偏振光形成部包括具有设在透明板的第1面的介电质多层膜的板型偏振分光镜，通过使从所述平行光形成部射出且倾斜地入射至所述介电质多层膜的表面的所述紫外光中的s偏光成分反射，使p偏光成分透射，而将分离所得的所述s偏光成分作为照射光束射出。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振光 照射 装置 | ||
【主权项】：
一种偏振光照射装置，其特征在于包括：光源部，射出紫外光；平行光形成部，使所述紫外光平行化；及偏振光形成部，包括具有设在透明板的第1面的介电质多层膜的板型偏振分光镜，通过使从所述平行光形成部射出且倾斜地入射至所述介电质多层膜的表面的所述紫外光中的s偏光成分反射，且使p偏光成分透射，而将分离所得的所述s偏光成分作为照射光束射出。
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