[发明专利]偏振光照射装置

说明书

技术领域

本发明的实施方式涉及一种偏振光照射装置。

背景技术

用于液晶面板的配向膜可通过对聚酰亚胺树脂等薄膜表面照射紫外线波长的直线偏振光而进行光配向。

伴随着液晶面板的高精细化或大型化，对光配向膜用偏振光照射装置要求高偏光消光比、偏光方位的均匀化及照射区域的大面积化等。

例如，为了使用包含折射率为1.6的透明板的偏光片来获得具有100∶1以上的偏光消光比的透射光，所积层的透明板的数量必须为200以上，从而装置成为大型。

而且，为了遍及大面积地获得沿长方形的照射区域的长度方向直线偏光的光，在重叠多个透明板而成的堆叠型偏光片中，必须使透明板沿长度方向倾斜。因此，必须抑制非偏振光从透明板的边界区域漏出。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利第3146998号公报

发明内容

本发明提供一种可实现高偏光消光比、均匀的偏光方位及宽照射面积的偏振光照射装置。

实施方式的偏振光照射装置包括射出紫外光的光源部、使所述紫外光平行化的平行光形成部、及偏振光形成部。所述偏振光形成部包括具有设在透明板的第1面的介电质多层膜的板型偏振分光镜，通过使从所述平行光形成部射出且倾斜地入射至所述介电质多层膜的表面的所述紫外光中的s偏光成分反射，使p偏光成分透射，而将分离所得的所述s偏光成分作为照射光束射出。

[发明的效果]

本发明提供一种可实现高偏光消光比、均匀的偏光方位及宽照射面积的偏振光照射装置。

附图说明

图1是本发明的第1实施方式的偏振光照射装置的构成图。

图2是本发明的第2实施方式的偏振光照射装置的构成图。

图3是本发明的第3实施方式的偏振光照射装置的构成图。

图4是说明偏振光形成部的示意图。

图5是说明入射至具有不同折射率的2种介质的边界面的p偏光及s偏振光的反射的示意图。

图6(a)是振幅反射率相关性的曲线图，图6(b)是p偏光及s偏光相对于入射角的振幅反射率相关性的曲线图。

图7是第1比较例的偏振光照射装置中所使用的偏光片的示意立体图。

图8是将第1～第3实施方式中所使用的板型偏振分光镜紧密排列而成的偏振光形成部的示意立体图。

图9(a)是第2比较例的板型偏振分光镜的示意立体图，图9(b)是排列着多个板型偏振分光镜的示意立体图。

图10(a)是第1～第3实施方式中所使用的板型偏振分光镜的变形例的示意平面图，图10(b)是示意前视图，图10(c)是沿C-C线的示意剖视图，图10(d)是将介电质多层膜局部放大的示意剖视图。

图11(a)是板型偏振分光镜的排列例，图11(b)是图11(a)的变形例。

图12是第4实施方式的偏振光照射装置的构成图。

图13(a)是第5实施方式的偏振光照射装置的示意平面图，图13(b)是示意剖视图。

图14是第6实施方式的偏振光照射装置的构成图。

附图标记：

10：光源部

12：紫外线灯

13：棒状光源部(长弧灯)

14：聚光镜

20：平行光形成部

22：光圈

24：(平行光形成部的)光轴

30：偏振光形成部

32、34、36、60、70、73：板型偏振分光镜

32a、34a：透明板

32b、34b：介电质多层膜

33：线栅型偏光板

40：落射镜

50：照射区域

52：配向膜

54：搬送部

61：介电质多层膜

61a：保护膜

61b：表面

62、162：非偏振光

63、65：s偏光

71：倒角区域

90：椭圆镜

91、92、96：透镜

93：平面镜

94：球面镜

95：狭缝

95a：第1狭缝

95b：第2狭缝

96：圆柱透镜

96a：第1圆柱透镜

96b：第2圆柱透镜

100：透明板

123、124：偏光成分

150：照射区域

160a：基板