[发明专利]偏振光照射装置

权利要求书

1.一种偏振光照射装置，其特征在于包括：

光源部，射出紫外光；

平行光形成部，使所述紫外光平行化；及

偏振光形成部，包括具有设在透明板的第1面的介电质多层膜的板型偏振分光镜，通过使从所述平行光形成部射出且倾斜地入射至所述介电质多层膜的表面的所述紫外光中的s偏光成分反射，且使p偏光成分透射，而将分离所得的所述s偏光成分作为照射光束射出。

2.根据权利要求1所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述偏振光形成部进而包含线栅型偏光板，使由所述板型偏振分光镜所反射的所述紫外光入射，且作为照射光束射出。

3.根据权利要求1或2所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述偏振光形成部包括第1及第2板型偏振分光镜；

所述第1板型偏振分光镜的介电质多层膜的一部分与所述第2板型偏振分光镜的介电质多层膜的一部分相互对向；

从所述平行光形成部射出的所述紫外光入射至所述第1板型偏振分光镜的所述介电质多层膜的表面；

由所述第1板型偏振分光镜的所述介电质多层膜反射的s偏振光入射至所述第2板型偏振分光镜的所述介电质多层膜的表面；

由所述第2板型偏振分光镜的所述介电质多层膜反射的s偏振光设为所述照射光束。

4.根据权利要求3所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述平行光形成部的光轴相对于所述第1偏振分光镜的所述介电质多层膜的所述表面的法线为70±5度。

5.根据权利要求4所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述第1板型偏振分光镜的所述介电质多层膜的所述表面与所述第2板型偏振分光镜的所述介电质多层膜的所述表面平行。

6.根据权利要求5所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述介电质多层膜的平面形状为平行四边形。

7.根据权利要求6所述的偏振光照射装置，其特征在于，所述透明板的截面为楔形。