[发明专利]一种太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺

摘要

一种太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺，包括如下步骤：步骤1：将硅片置于富HNO3的HF和HNO3的混合溶液中进行一次腐蚀；步骤2：将一次腐蚀后的硅片置于NaOH溶液中浸泡；步骤3：使用去离子水对经步骤2浸泡后的硅片进行冲洗；步骤4：将硅片置于富HF的HF和HNO3的混合溶液中进行二次腐蚀；步骤5：将二次腐蚀后的硅片置于NaOH溶液中浸泡，去除多孔硅；步骤6：用大量去离子水对经步骤5浸泡后的硅片进行冲洗，烘干；步骤7：将硅片置于HF和HCL的混合溶液中浸泡，去除氧化层和金属离子；步骤8：将硅片用去离子水冲洗干净后烘干。使用本发明首先在富HNO3体系中对硅片进行一次腐蚀，再在富HF体系中进行二次腐蚀，不但能够节约成本，而且制绒均匀稳定。

主权项

一种太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺，其特征在于，采用HF和HNO3的混合溶液对硅片进行两次各向同性腐蚀，包括如下步骤：步骤1：将硅片置于富HNO3的HF和HNO3的混合溶液中进行一次腐蚀；步骤2：将一次腐蚀后的硅片置于NaOH溶液中浸泡；步骤3：使用去离子水对经步骤2浸泡后的硅片进行冲洗；步骤4：将硅片置于富HF的HF和HNO3的混合溶液中进行二次腐蚀；步骤5：将二次腐蚀后的硅片置于NaOH溶液中浸泡，去除多孔硅；步骤6：用大量去离子水对经步骤5浸泡后的硅片进行冲洗，烘干；步骤7：将硅片置于HF和HCL的混合溶液中浸泡，去除氧化层和金属离子；步骤8：将硅片用去离子水冲洗干净后烘干。