[发明专利]一种太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺

权利要求书

1.一种太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺，其特征在于，采用HF和HNO₃的混合溶液对硅片进行两次各向同性腐蚀，包括如下步骤：

步骤1：将硅片置于富HNO₃的HF和HNO₃的混合溶液中进行一次腐蚀；

步骤2：将一次腐蚀后的硅片置于NaOH溶液中浸泡；

步骤3：使用去离子水对经步骤2浸泡后的硅片进行冲洗；

步骤4：将硅片置于富HF的HF和HNO₃的混合溶液中进行二次腐蚀；

步骤5：将二次腐蚀后的硅片置于NaOH溶液中浸泡，去除多孔硅；

步骤6：用大量去离子水对经步骤5浸泡后的硅片进行冲洗，烘干；

步骤7：将硅片置于HF和HCL的混合溶液中浸泡，去除氧化层和金属离子；

步骤8：将硅片用去离子水冲洗干净后烘干。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺，其特征在于，所述步骤7中，HF和HCL的混合溶液配比为：HF:HCL:H₂O=1:1:5，浸泡时间：2—5分钟。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺，其特征在于，所述浸泡时间为3分钟。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺，其特征在于，所述步骤1中，HF和HNO₃的混合溶液配比为1:7≤HF:HNO₃≤1:3，腐蚀温度：15-25℃，腐蚀时间：1—4分钟。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺，其特征在于，所述步骤1中，HF和HNO₃的混合溶液配比为HF:HNO₃=1:5，腐蚀温度：19℃，腐蚀时间：2分钟。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺，其特征在于，所述步骤4中，HF和HNO₃的混合溶液配比为80:1≤HF:HNO₃≤30:1，腐蚀温度：15-25℃，腐蚀时间：2—5分钟。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺，其特征在于，所述步骤4中，HF和HNO₃的混合溶液配比为HF:HNO₃=50:1，腐蚀温度：19℃，腐蚀时间：3分钟。

8.根据权利要求1所述的太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺，其特征在于，所述步骤2和步骤5中的NaOH溶液的浓度小于1%，浸泡时间为20—50秒。

9.根据权利要求8所述的太阳能电池表面的二次腐蚀制绒工艺，其特征在于，所述步骤2和步骤5中的NaOH溶液的浓度为0.5%，浸泡时间为30秒。