[发明专利]激光退火设备在审
| 申请号： | 201310341694.0 | 申请日： | 2013-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN103934568A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 朴喆镐;秋秉权;金银哲;孙希根;尹种铉 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/064;B23K26/70;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;罗延红 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了一种激光退火设备，所述激光退火设备包括：透镜单元，被构造为使激光束透射为照射到照射目标上；透镜单元壳，容纳透镜单元并且具有开口，所述开口被构造为允许激光束穿过所述开口；挡板，被构造为阻挡在激光束透射过透镜单元到照射目标之后被照射目标反射的激光束的至少一部分；冷却单元，位于挡板和透镜单元壳之间。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 退火 设备 | ||
【主权项】：
一种激光退火设备，所述激光退火设备包括：透镜单元，被构造为使激光束透射为照射到照射目标上；透镜单元壳，容纳透镜单元并且具有开口，所述开口被构造为允许激光束穿过所述开口；挡板，被构造为阻挡在激光束透射过透镜单元到照射目标之后被照射目标反射的激光束的至少一部分；冷却单元，位于挡板和透镜单元壳之间。
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