[发明专利]激光退火设备在审
| 申请号： | 201310341694.0 | 申请日： | 2013-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN103934568A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 朴喆镐;秋秉权;金银哲;孙希根;尹种铉 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/064;B23K26/70;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;罗延红 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 退火 设备 | ||
1.一种激光退火设备，所述激光退火设备包括：
透镜单元，被构造为使激光束透射为照射到照射目标上；
透镜单元壳，容纳透镜单元并且具有开口，所述开口被构造为允许激光束穿过所述开口；
挡板，被构造为阻挡在激光束透射过透镜单元到照射目标之后被照射目标反射的激光束的至少一部分；
冷却单元，位于挡板和透镜单元壳之间。
2.如权利要求1所述的激光退火设备，其中，透射过透镜单元的激光束以除了0°之外的入射角入射在照射目标上。
3.如权利要求2所述的激光退火设备，其中，挡板位于透镜单元壳下方并且至少部分地阻挡被照射目标反射的激光束朝着透镜单元壳行进。
4.如权利要求3所述的激光退火设备，其中，冷却单元包括流体通道，所述流体通道具有入口和出口。
5.如权利要求3所述的激光退火设备，其中，冷却单元具有包含与透镜单元壳的开口相对应的开口的板的形状。
6.如权利要求5所述的激光退火设备，其中，冷却单元在冷却单元的开口的侧部处面接触挡板。
7.如权利要求5所述的激光退火设备，其中，冷却单元包括壳体接触单元，所述壳体接触单元从冷却单元的边缘朝着透镜单元壳突出并且接触透镜单元壳。
8.如权利要求7所述的激光退火设备，其中，壳体接触单元包围冷却单元的边缘。
9.如权利要求8所述的激光退火设备，所述激光退火设备还包括净化线路，所述净化线路利用净化气体来净化冷却单元和透镜单元壳之间的空间。
10.如权利要求9所述的激光退火设备，其中，净化线路经由壳体接触单元净化冷却单元和透镜单元壳之间的空间。
11.如权利要求5所述的激光退火设备，所述激光退火设备还包括冷却单元位置调节单元，所述冷却单元位置调节单元被构造为调节冷却单元的位置，以改变冷却单元的开口的位置。
12.如权利要求3所述的激光退火设备，其中，冷却单元接触挡板的面对透镜单元壳的表面。
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