[发明专利]一种沉积锌合金镀层多功能实验装置及其方法

摘要

本发明提供一种沉积锌合金镀层的多功能实验装置及方法，本发明在其装置中集成设置有蒸镀部件、磁控溅射部件和加热部件；蒸镀部件设置在镀室底部的一边，磁控溅射部件设置在镀室的两侧壁上，加热部件设置在镀室内壁一侧的上方；该装置在同一台设备上通过蒸镀和退火，或者通过磁控溅射和退火实现钢基板表面合金镀层的沉积；本发明的实验装置将多个功能部件巧妙地在同一设备中共用其共同的功能，并且可各自使用其独特的功能；本发明使真空蒸镀+退火或者磁控溅射+退火可在真空条件下连续进行，消除了不连续生产过程中产生产品缺陷的隐患，保证了合金镀层产品的质量和性能；本发明的设备结构紧凑，功能齐全，既节省了材料又节省了能源。

主权项

一种沉积锌合金镀层的多功能实验装置，其特征在于，在该装置中集成设置有蒸镀部件（3），磁控溅射部件（8）和加热部件（7）；蒸镀部件（3）设置在镀室（1）底部的一边，磁控溅射部件（8）设置在镀室（1）的两侧壁上，加热部件（7）设置在镀室（1）内壁一侧的上方；该装置在同一台设备上通过蒸镀和退火，或者通过磁控溅射和退火实现基板（6）表面合金镀层的沉积；该装置的镀室（1）中设置有离子源（2），离子源（2）设置在磁控溅射部件（8）之间，在离子源（2）和蒸镀部件（3）的上方设置有固定基板（6）的基板架（5），基板架（5）与镀室（1）上方外置的减速电机（19）连接；该装置还连接有真空获得系统（14），压缩空气供气系统（15），工作气体供气系统（16），循环水冷却系统（17）以及电控系统（18）。