[发明专利]水晶振荡式膜厚监视器用传感器头无效
| 申请号： | 201310338522.8 | 申请日： | 2013-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN103710666A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 龟山大树;加藤升;福田浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供一种水晶振荡式膜厚监视器用传感器头，其能够长时间稳定地测定膜厚，能够延长有机EL制造装置的连续工作时间。作为解决本发明课题的手段涉及一种水晶振荡式膜厚监视器用传感器头，其特征在于，具有：检测来自被加热的坩锅的蒸发粒子的水晶振子；安装有该水晶振子的水晶振子保持架；覆盖该水晶振子保持架的金属制的盖；与该盖以热的方式连接的监视器本体；和在该监视器本体上安装的冷却构件，上述盖接近热源的部分采用不锈钢，与上述监视器本体接触的部分采用铝合金。 | ||
| 搜索关键词： | 水晶 振荡 式膜厚 监视 器用 传感器 | ||
【主权项】：
水晶振荡式膜厚监视器用传感器头，其特征在于，具有：检测来自被加热的坩锅的蒸发粒子的水晶振子；安装有该水晶振子的水晶振子保持架；覆盖该水晶振子保持架的金属制的盖；与该盖以热的方式连接的监视器本体；和在该监视器本体上安装的冷却构件，所述盖接近热源的部分采用不锈钢，与所述监视器本体接触的部分采用铝合金。
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