[发明专利]水晶振荡式膜厚监视器用传感器头

说明书

技术领域

本发明涉及水晶振荡式膜厚监视器用传感器头。

背景技术

作为有机EL制造装置等中的薄膜的膜厚检测方法，有水晶振荡式。该水晶振荡式利用当在水晶振荡元件的表面上附着物质时其共振振动变化来测定物质的膜厚。

在这种情况下，当水晶振荡元件受到蒸镀时发生的热的影响时，水晶振荡元件的共振频率变动，不可能进行正确的测定，对成膜结果带来影响。

作为解决该问题的现有技术，例如有专利文献1。该现有技术通过珀尔帖零件把由水晶振荡元件组成的监视器的温度保持在规定的一定温度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭63－72872号公报

现有的水晶振荡式膜厚监视器用传感器头作为热对策，安装水冷冷却线圈（冷却机构），同时安装热护罩（热屏蔽盖）来覆盖水晶振荡元件，保护水晶振荡元件不受成膜工序中的辐射热的影响。

该热护罩和收纳水晶振荡元件的水晶振荡元件保持架用不锈钢等低导热材料构成。

但是近来要求装置的连续工作时间的长时间化，与此相伴水晶振荡元件在辐射热下暴露的时间也变长，需要更加牢固的热保护。

进而，当作为热对策冷却水晶振荡元件保持架时，通过未使用时和蒸镀时的温度差发生称为热冲击(heat shock)的现象，对于膜厚测定带来恶劣影响。

另外，专利文献1是用珀尔帖零件包围水晶振荡元件监视器这样的措施防止水晶振荡元件的温度上升的技术，有结构复杂这样的问题。

因此，本发明的目的是提供一种水晶振荡式膜厚监视器用传感器头，其能够长时间稳定地测定膜厚，能够延长有机EL制造装置的连续工作时间。

用于解决课题的方法

为了解决上述课题，本发明具有检测来自被加热的坩锅的蒸发粒子的水晶振子；安装有该水晶振子的水晶振子保持架；覆盖该水晶振子保持架的金属制的盖；与该盖以热的方式连接的监视器本体；和在该监视器本体上安装的冷却构件，上述盖接近热源的部分采用不锈钢，与上述监视器本体接触的部分采用铝合金。

根据本发明，能够提供一种水晶振荡式膜厚监视器用传感器头，其能够长时间稳定地测定膜厚，能够延长有机EL制造装置的连续工作时间。

上述以外的课题、结构以及效果通过以下的实施方式的说明来明确。

附图说明

图1是本发明的实施例的蒸发源装置的分解立体图。

图2是具有本发明的实施例的蒸发源装置的薄膜形成装置的截面图。

图3是本发明的实施例1的蒸发源装置的立体图。

图4是本发明的实施例1的水晶振子的主视图。

图5是本发明的实施例1的膜厚控制装置的立体图。

图6是本发明的实施例1的膜厚控制装置的包含一部分截面的立体图。

图7是本发明的实施例1的膜厚控制装置的截面图。

图8是本发明的实施例2的膜厚控制装置的部分截面图。

图9是本发明的实施例2的膜厚控制装置的部分截面图。

符号说明

1…蒸发源装置    2…壳体

3…EL材料        3a…蒸发粒子

4…坩锅          5…加热装置

6…气体排出用板  6a…气体排出孔

7…真空室        8…被蒸镀基板

9…膜厚控制装置  10…水晶振子保持架

10a…不锈钢      10b…铝合金

11…水晶振子     12…凹部

13…开口部       14…压住板

15…电极         16…接触式电极

17…盖           17a…不锈钢

17b…铝合金      17c…爪部

17d…沟部        17e…螺丝

18…供给孔       20…旋转轴

22…监视器本体   23…冷却配管

具体实施方式

下面参照附图说明本发明的实施例。

以下，在图1到图7中说明本发明的有机EL设备制造装置中的实施方式。

（实施例1）

有机EL设备装置，是在发光材料层以外，用薄膜重叠空穴注入层、传输层、电子注入层、传输层、和金属材料等各种材料的多层结构。

图1是本发明的实施例的蒸发源装置的分解立体图。

图2是具有本发明的实施例的蒸发源装置的薄膜形成装置的截面图。