[发明专利]水晶振荡式膜厚监视器用传感器头无效
| 申请号： | 201310338522.8 | 申请日： | 2013-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN103710666A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 龟山大树;加藤升;福田浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/52 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水晶 振荡 式膜厚 监视 器用 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.水晶振荡式膜厚监视器用传感器头，其特征在于，具有：
检测来自被加热的坩锅的蒸发粒子的水晶振子；
安装有该水晶振子的水晶振子保持架；
覆盖该水晶振子保持架的金属制的盖；
与该盖以热的方式连接的监视器本体；和
在该监视器本体上安装的冷却构件，
所述盖接近热源的部分采用不锈钢，与所述监视器本体接触的部分采用铝合金。
2.根据权利要求1所述的水晶振荡式膜厚监视器用传感器头，其特征在于，
所述盖通过不锈钢和铝合金的一体成形而形成。
3.根据权利要求1所述的水晶振荡式膜厚监视器用传感器头，其特征在于，
在所述不锈钢的尖端设置爪部，在所述铝合金的尖端设置沟部，
同时把所述爪部插入所述沟部来形成所述盖。
4.根据权利要求3所述的水晶振荡式膜厚监视器用传感器头，其特征在于，
用螺丝结合所述不锈钢和所述铝合金。
5.根据权利要求3所述的水晶振荡式膜厚监视器用传感器头，其特征在于，
把所述水晶振子保持架做成所述不锈钢和所述铝合金的两层结构。
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