[发明专利]清洗装置在审
| 申请号： | 201310335864.4 | 申请日： | 2013-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN104338706A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | 王坚;贾照伟;何增华;王晖 | 申请（专利权）人： | 盛美半导体设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洗装置，包括：清洗液输送管体及与清洗液输送管体相连接的滴头。滴头包括中空的滴头壳体，滴头壳体的顶部开设有进液口，滴头壳体的底部开设有出液口，滴头壳体内填充有海绵状填充物，滴头壳体的开设有进液口的一侧安装在清洗液输送管体的一端。本发明通过在滴头壳体内填充海绵状填充物，当使用该清洗装置清洗晶圆表面的边缘和晶圆的侧面时，从海绵状填充物中渗出的清洗液液柱能够保持很好的连续性，从而使得晶圆表面的边缘和侧面能够得到有效的清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种清洗装置，其特征在于，包括：清洗液输送管体及与所述清洗液输送管体相连接的滴头，其中，所述滴头包括中空的滴头壳体，滴头壳体的顶部开设有进液口，滴头壳体的底部开设有出液口，滴头壳体内填充有海绵状填充物，所述滴头壳体的开设有进液口的一侧安装在清洗液输送管体的一端。
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