[发明专利]一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201310331388.9 | 申请日： | 2013-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN103435339A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 童义平 | 申请（专利权）人： | 惠州学院 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭 |
| 地址： | 516007 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法，本发明首先将铝盐和粘结剂溶解于溶剂中，然后加入锌盐粉末，搅拌烘干后得到混合粉末，将混合粉末依次进行压制成型和烧结，制备得到铝掺杂氧化锌靶材，本发明制备方法简单，生产成本低，适合产业化发展，制得的铝掺杂氧化锌靶材品质较高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氧化锌 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铝掺杂氧化锌靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将铝盐和粘结剂溶于溶剂中制得混合溶液，向所述混合溶液中加入锌盐，搅拌均匀，烘干后得到混合粉末，将所述混合粉末压制成型得到坯体，随后在空气气氛下将所述坯体置于1200℃～1500℃烧结1～6小时，得到所述铝掺杂氧化锌靶材；所述溶剂为水和有机溶剂中的至少一种，所述溶剂的重量是锌盐重量的10～50倍；所述铝盐的重量、锌盐的重量和粘结剂的重量分别占铝盐、锌盐和粘结剂重量总和的1%～8%、90%～98.8%和0.2%～2%。
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