[发明专利]放置设备的放置头的运动学保持系统在审
| 申请号： | 201310304630.3 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN103579046A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 翰尼斯·科斯特纳;迪特马尔·莱克纳;弗洛里安·斯皮尔;马丁·维道尔 | 申请（专利权）人： | 贝思瑞士股份公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 黄刚;车文 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 放置设备的放置头(2)的运动学保持系统包括：放置头对准装置，其包括至少一个长度可变的保持构件，该保持构件布置在所述放置头支撑件(1)和所述放置头(2)之间且与接头(4、4′)成间距。该保持构件确定所述放置头(2)相对于所述放置头支撑件(1)的枢转位置。该保持构件的长度在放置操作期间可以根据由所述放置头(2)压抵在衬底(3)上的挤压力而导致的放置头引导装置(18)的变形以如下方式而改变，即，补偿由所述放置头引导装置(18)的变形而导致的所述放置头(2)的轴线误差(倾斜度)。 | ||
| 搜索关键词： | 放置 设备 运动学 保持 系统 | ||
【主权项】：
放置设备的放置头(2)的运动学保持系统，所述放置设备用于将电子部件或光学部件(7)安装在衬底(3)上，所述运动学保持系统包括：放置头引导装置(18)，包括用于保持所述放置头(2)的放置头支撑件(1)；和放置头对准装置，用于调整所述放置头(2)相对于所述放置头支撑件(1)的对准，其中所述放置头对准装置包括接头(4、4′)，所述放置头(2)经由所述接头被以可调整倾斜度的方式支撑在所述放置头支撑件(1)上，并且其中所述放置头对准装置包括至少一个长度可变的保持构件，所述至少一个长度可变的保持构件被布置在所述放置头支撑件(1)和所述放置头(2)之间且与所述接头(4、4′)成间距，所述至少一个长度可变的保持构件确定所述放置头(2)相对于所述放置头支撑件(1)的枢转位置，并且在放置操作期间，取决于由所述放置头(2)挤压抵靠所述衬底(3)的挤压力而导致的所述放置头引导装置(18)的变形，所述至少一个长度可变的保持构件的长度能够以对由所述放置头引导装置的变形而导致的所述放置头(2)的轴线误差即倾斜度进行补偿的方式而改变。
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