[发明专利]放置设备的放置头的运动学保持系统

权利要求书

1.放置设备的放置头(2)的运动学保持系统，所述放置设备用于将电子部件或光学部件(7)安装在衬底(3)上，所述运动学保持系统包括：

放置头引导装置(18)，包括用于保持所述放置头(2)的放置头支撑件(1)；和

放置头对准装置，用于调整所述放置头(2)相对于所述放置头支撑件(1)的对准，其中

所述放置头对准装置包括接头(4、4′)，所述放置头(2)经由所述接头被以可调整倾斜度的方式支撑在所述放置头支撑件(1)上，并且其中所述放置头对准装置包括至少一个长度可变的保持构件，所述至少一个长度可变的保持构件被布置在所述放置头支撑件(1)和所述放置头(2)之间且与所述接头(4、4′)成间距，所述至少一个长度可变的保持构件确定所述放置头(2)相对于所述放置头支撑件(1)的枢转位置，并且在放置操作期间，取决于由所述放置头(2)挤压抵靠所述衬底(3)的挤压力而导致的所述放置头引导装置(18)的变形，所述至少一个长度可变的保持构件的长度能够以对由所述放置头引导装置的变形而导致的所述放置头(2)的轴线误差即倾斜度进行补偿的方式而改变。

2.根据权利要求1所述的保持系统，其中所述长度可变的保持构件具有平行于或横向于所述放置头(2)的纵向轴线(8)布置的纵向轴线。

3.根据权利要求1或2所述的保持系统，其中借助于放置头控制台(11)将所述放置头(2)可枢转地安装在所述放置头支撑件(1)上，其中所述长度可变的保持构件被支撑在所述放置头控制台(11)上。

4.根据上述权利要求中任何一项所述的保持系统，其中所述放置头对准装置包括多个接头杆(15a、15b)，所述多个接头杆经由接头连接到所述放置头(2)，且还连接到所述放置头支撑件(1)，并且所述多个接头杆将所述放置头(2)保持在相对于所述放置头支撑件(1)可改变的预定位置中，其中借助于所述长度可变的保持构件，所述接头杆(15a、15b)的相对位置能够以对所述放置头(2)的由变形引起的所述轴线误差即倾斜度进行补偿的方式改变。

5.根据上述权利要求中任何一项所述的保持系统，其中所述长度可变的保持构件由以弹簧(12)为形式的受动元件组成，所述受动元件被布置在所述放置头支撑件(1)和所述放置头(2)之间，布置方式使得所述放置头支撑件(1)一方面经由所述接头(4)且另一方面经由所述弹簧(12)将所述挤压力传递到所述放置头(2)，其中由所述挤压力产生的反作用力使所述弹簧(12)的长度产生改变。

6.根据权利要求1至4中任何一项所述的保持系统，其中所述长度可变的保持构件由行程控制或力控制的致动器(13)组成。

7.根据权利要求6所述的保持系统，其中所述致动器(13)包括电直接驱动器、音圈或压电驱动器。

8.根据权利要求6或7所述的保持系统，其中所述致动器(13)经由杠杆布置或齿轮在所述放置头(2)的轴向位置上动作。

9.根据上述权利要求中任何一项所述的保持系统，其中所述放置头对准装置包括运动阻挡装置，用于阻挡所述放置头(2)相对于所述放置头支撑件(1)的相对移动。

10.根据权利要求6至9中任何一项所述的保持系统，其中所述致动器(13)被形成为可锁定的致动器(13)。

11.根据上述权利要求中任何一项所述的保持系统，其中所述放置头(2)在所述放置头(2)的上端区域或底端区域中被以钟摆的方式悬挂在所述放置头支撑件(1)上，并且借助于接头(4、4′)在Z方向上支撑所述放置头(2)，所述接头具有至少一个旋转自由度，并且至少一个长度可变的保持构件被设置在所述接头(4、4′)的下方或上方，用于调整所述放置头(2)相对于所述放置头支撑件(1)的倾斜度。

12.根据权利要求11所述的保持系统，其中，所述接头(4、4′)被布置为单轴线接头、球窝接头或万向接头。

13.根据上述权利要求中任何一项所述的保持系统，其中设置多个长度可变的保持构件，所述多个长度可变的保持构件以所述多个长度可变的保持构件在所述放置头(2)上从不同方向动作的方式布置，使得所述放置头(2)能够在空间上多维枢转。