[发明专利]样品定位标记的形成方法有效
| 申请号： | 201310287414.2 | 申请日： | 2013-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN103336148A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 陈强 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种样品定位标记的形成方法，包括：提供样品，在所述样品表面涂覆一层透光有机材料，用激光反应的方法去掉部分所述透光有机材料作为定位标记。通过在样品表面涂布一层透光有机材料以及用低能量激光反应的方法对样品进行定位标记，避免了对样品表面的破坏和污染；并且使用该方法标记的样品在扫描电镜内易于寻找，操作简单快速，大大提高了样品分析的质量和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 定位 标记 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种样品定位标记的形成方法，其特征在于，包括以下步骤：提供一需定位标记的样品，所述样品具有需要分析的目标；在样品需要标记的表面涂覆一层透光有机材料；去掉部分所述透光有机材料作为定位标记。
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