[发明专利]样品定位标记的形成方法有效
申请号: | 201310287414.2 | 申请日: | 2013-07-09 |
公开(公告)号: | CN103336148A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 陈强 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01Q30/20 | 分类号: | G01Q30/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 陆花 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 样品 定位 标记 形成 方法 | ||
1.一种样品定位标记的形成方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供一需定位标记的样品,所述样品具有需要分析的目标;
在样品需要标记的表面涂覆一层透光有机材料;
去掉部分所述透光有机材料作为定位标记。
2.如权利要求1所述的样品定位标记的形成方法,其特征在于,所述样品上需要分析的目标位于所述样品表面。
3.如权利要求1所述的样品定位标记的形成方法,其特征在于,所述样品上需要分析的目标位于所述样品内部。
4.如权利要求1所述的样品定位标记的形成方法,其特征在于,采用笔涂或者滴落旋涂的方法在样品需要标记的表面涂覆一层透光有机材料。
5.如权利要求4所述的样品定位标记的形成方法,其特征在于,所述透光有机材料的厚度为1~100um。
6.如权利要求4所述的样品定位标记的形成方法,其特征在于,所述透光有机材料为红色油性笔材料。
7.如权利要求1所述的样品定位标记的形成方法,其特征在于,采用激光反应的方法去掉部分所述透光有机材料作为定位标记。
8.如权利要求1所述的样品定位标记的形成方法,其特征在于,所述定位标记为一个或多个定位条。
9.如权利要求8所述的样品定位标记的形成方法,其特征在于,所述定位标记为两个相互垂直但不相交的定位条,所述两个定位条的延长线的交点为需要进行分析的目标。
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