[发明专利]分光测定装置

摘要

本发明提供能进行快速的分光测定的分光测定装置。分光测定装置（1）具备：波长可变干涉滤波器（5），包括具有固定反射膜的固定基板、具有可动反射膜的可动基板、以及变更固定反射膜和可动反射膜之间的反射膜间间隙的间隙量的静电致动器；检测部（11），检测由波长可变干涉滤波器（5）取出的光的光强度；电压设定部（21）以及电压控制部（15），对静电致动器施加连续变化的模拟电压；电压监视部（22），监视施加给静电致动器的电压；存储部（30），存储V-λ数据；以及光强度取得部（24），根据由电压监视部（24）监视的电压，在透过波长可变干涉滤波器（5）的光成为测定对象波长的定时，取得由检测部（11）检测的光强度。

主权项

一种分光测定装置，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置于所述第一基板；第二反射膜，设置于所述第二基板，所述第二反射膜隔着规定的反射膜间间隙与所述第一反射膜相对；间隙量变更部，通过电压施加而使所述第二基板挠曲，变更所述反射膜间间隙的间隙量；检测部，检测由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光的光强度；滤波器驱动部，对所述间隙量变更部施加连续变化的模拟电压；电压监视部，监视被施加给所述间隙量变更部的电压；存储部，存储施加给所述间隙量变更部的电压与由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光的波长之间的关系、即V‑λ数据；以及光强度取得部，根据由所述电压监视部监视的电压，在由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光成为所期望的测定对象波长的定时，取得由所述检测部检测的所述光强度。