[发明专利]分光测定装置

权利要求书

1.一种分光测定装置，其特征在于，具备：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板相对；

第一反射膜，设置于所述第一基板；

第二反射膜，设置于所述第二基板，所述第二反射膜隔着规定的反射膜间间隙与所述第一反射膜相对；

间隙量变更部，通过电压施加而使所述第二基板挠曲，变更所述反射膜间间隙的间隙量；

检测部，检测由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光的光强度；

滤波器驱动部，对所述间隙量变更部施加连续变化的模拟电压；

电压监视部，监视被施加给所述间隙量变更部的电压；

存储部，存储施加给所述间隙量变更部的电压与由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光的波长之间的关系、即V-λ数据；以及

光强度取得部，根据由所述电压监视部监视的电压，在由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光成为所期望的测定对象波长的定时，取得由所述检测部检测的所述光强度。

2.根据权利要求1所述的分光测定装置，其特征在于，

所述滤波器驱动部将电压相对于时间的变动模式为规定的固定模式的所述模拟电压施加给所述间隙量变更部，

所述V-λ数据是表示将所述变动模式的模拟电压施加给所述间隙量变更部时的、施加给所述间隙量变更部的电压和在将该电压施加给所述间隙量变更部的定时由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光的波长之间的关系的数据，

所述光强度取得部根据所述V-λ数据取得相对于测定对象波长的目标电压，在由所述电压监视部监视的电压变为所述目标电压的定时，取得由所述检测部检测的光强度。

3.根据权利要求1所述的分光测定装置，其特征在于，

所述滤波器驱动部将电压相对于时间的变动模式为规定的固定模式的所述模拟电压施加给所述间隙量变更部，

所述V-λ数据是表示施加给所述间隙量变更部的电压、和将该电压施加给所述间隙量变更部之后在所述反射膜间间隙的变动结束的状态下的由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光的波长之间的关系的数据，

所述存储部在对所述间隙量变更部施加所述变动模式的模拟电压时，存储在规定的电压被施加给所述间隙量变更部之后直至由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出对应于所述V-λ数据的所述电压的波长的光为止的延迟时间，

所述光强度取得部在从由所述电压监视部监视的电压变为相对于所述测定对象波长的目标电压的定时开始经过了所述延迟时间的定时，取得由所述检测部检测的光强度。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的分光测定装置，其特征在于，

所述滤波器驱动部将使所述第二基板周期地进退驱动的周期驱动电压作为所述模拟电压施加给所述间隙量变更部。

5.根据权利要求4所述的分光测定装置，其特征在于，

所述周期驱动电压的周期比所述第二基板具有的固有周期大。

6.根据权利要求4或5所述的分光测定装置，其特征在于，

所述光强度取得部多次取得相对于所述测定对象波长的光的所述光强度，并将取得的多次的光强度的平均值作为测定值。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的分光测定装置，其特征在于，

所述滤波器驱动部使所述反射膜间间隙的间隙量从没有所述第二基板的挠曲的初始间隙量变化至规定的最小间隙量，

所述最小间隙量比对应于测定对象波段中的最小波长的下限间隙量小。

8.一种分光测定装置，其特征在于，具备：

隔着反射膜间间隙相对的第一反射膜和第二反射膜；

间隙量变更部，变更所述反射膜间间隙的间隙量；

检测部，检测由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光的光强度；

滤波器驱动部，对所述间隙量变更部施加连续变化的模拟电压；

电压监视部，监视施加给所述间隙量变更部的电压；

存储部，存储施加给所述间隙量变更部的电压与由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光的波长之间的关系、即V-λ数据；以及

光强度取得部，根据由所述电压监视部监视的电压，在由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光成为所期望的测定对象波长的定时，取得由所述检测部检测的所述光强度。