[发明专利]分光测定装置

说明书

技术领域

本发明涉及分光测定装置。

背景技术

以往，已知一种具有相互对置的一对反射膜，通过使该反射膜间的距离变化而从测定对象的光中取出规定波长的光的波长可变干涉滤波器。另外，已知使用这种波长可变干涉滤波器来测定测定对象的光的分光光谱的分光测定装置（例如，参照专利文献1）。

专利文献1中所述的光谐振器（波长可变干涉滤波器）具备在表面上形成有凹部的第一基板和第二基板，第二基板以闭塞第一基板的凹部内部的方式被接合。另外，在第一基板的凹部的底部以及与第二基板的凹部相对的面上设有互相对置的高反射膜和调整这些反射膜之间的间隙（反射膜间间隙）的电极。而且，第二基板在与凹部相对的区域设有厚壁部和薄壁部，通过使薄壁部挠曲，从而厚壁部能够向凹部侧进退。

在这种波长可变干涉滤波器中，通过对电极间施加电压来使膜片的薄壁部变形，使厚壁部相对于第一基板进退，从而能够调整反射膜间间隙。

【在先技术文献】

【专利文献】

专利文献1：日本特开平7-243963号公报

可是，在利用上述那样的波长可变干涉滤波器取出目标波长的光时，在电极间施加对应于目标波长的电压。此时，由于随电压施加的静电引力和第二基板的薄壁部的弹性力作用于第二基板的厚壁部，因而该厚壁部振动。

因此，以往，在使用了这种波长可变干涉滤波器的分光测定装置中，为了高精度地测定目标波长的光，待机至厚壁部的振动静止，在厚壁部的振动静止之后实施光量测定处理。因此，存在测定所需要的时间增大这样的问题。

尤其在分光测定装置中，需要依次变更规定的波段的测定对象的波长，进而测定相对于各波长的光量。因此，如果对所有的每个测定对象都设定上述那样的待机时间，则存在测定所需要的时间进一步增大这样的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供能进行快速的分光测定的分光测定装置。

本发明第一方面的分光测定装置具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置于所述第一基板；第二反射膜，设置于所述第二基板，所述第二反射膜隔着规定的反射膜间间隙与所述第一反射膜相对；间隙量变更部，通过电压施加而使所述第二基板挠曲，变更所述反射膜间间隙的间隙量；检测部，检测由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光的光强度；滤波器驱动部，对所述间隙量变更部施加连续变化的模拟电压；电压监视部，监视被施加给所述间隙量变更部的电压；存储部，存储施加给所述间隙量变更部的电压和由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光的波长之间的关系、即V-λ数据；以及光强度取得部，根据由所述电压监视部监视的电压，在由所述第一反射膜和所述第二反射膜取出的光成为所期望的测定对象波长的定时，取得由所述检测部检测的所述光强度。

依照本发明，分光测定装置具备使第一反射膜和第二反射膜的反射膜间间隙的间隙量变化的间隙量变更部，该间隙量变更部通过施加电压而使第二基板向第一基板侧挠曲，进而使反射膜间间隙的间隙量变化。

在此，在为了将反射膜间间隙的间隙量设定为所期望的值而对间隙量变更部施加规定的步进电压时，由于从间隙量变更部受到的驱动力和第二基板自身具有的弹力（弹簧力）作用于第二基板，因而导致第二基板会振动，需要待机至反射膜间间隙的变动结束为止。

对此，在本发明中，滤波器驱动部对间隙量变更部施加连续变化的模拟电压。因此，反射膜间间隙的间隙量会随模拟电压的大小而连续变化。因此，光强度取得部根据V-λ数据，监视由电压监视部监视的向间隙量变更部的可施加电压，在对应于测定对象波长的光由第一反射膜和第二反射膜取出的定时，取得由检测部检测的光强度。该情况下，由于无需待机至第二基板的振动静止为止，因而能够快速地实施相对于测定对象波长的光强度的检测，且能够实施测定对象光的分光光谱的快速的测定。

另外，在对间隙量变更部施加电压的定时，产生起因于电压控制用电路中的信号延迟、第二基板的物性（第二基板的刚性、弹簧力等）的延迟。对此，在本发明中，通过监视施加给间隙量变更部的电压，在由第一反射膜和第二反射膜取出的光成为测定对象波长的定时取得光强度，因而就会取得考虑了上述那样的延迟的光强度。由此，能够快速且高精度地实施分光测定。