[发明专利]硅片甩干装置无效
申请号: | 201310273546.X | 申请日: | 2013-06-30 |
公开(公告)号: | CN104251608A | 公开(公告)日: | 2014-12-31 |
发明(设计)人: | 周建国;夏利荣 | 申请(专利权)人: | 常州市立威刀具有限公司 |
主分类号: | F26B11/08 | 分类号: | F26B11/08 |
代理公司: | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人: | 何学成 |
地址: | 213000 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种对硅片进行甩干的硅片甩干装置,包括上端开口、下端密封的壳体,壳体内设置有旋转桶,以及驱动旋转桶旋转的驱动机构,所述旋转桶上具有容放硅片的容置腔,旋转桶上开有出水孔,出水孔与容置腔连通,所述容置腔内周壁还设有对硅片进行限位的限位柱。在使用本发明时,将需要甩干的硅片放置在容置腔内,由容置腔内中的四根限位柱对硅片进行限位保护,在启动驱动电机带动旋转盘进行转动,同时带动固定在旋转盘上的旋转桶旋转,从而对硅片进行甩干,容置腔内的硅片甩出的水由出水孔排出,硅片甩干后直接取出即可。本发明结构简单、使用方便,适于推广应用。 | ||
搜索关键词: | 硅片 装置 | ||
【主权项】:
硅片甩干装置,其特征在于:包括上端开口、下端密封的壳体,壳体内设置有旋转桶,以及驱动旋转桶旋转的驱动机构,所述旋转桶上具有容放硅片的容置腔,旋转桶上开有出水孔,出水孔与容置腔连通,所述容置腔内周壁还设有对硅片进行限位的限位柱。
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