[发明专利]硅片甩干装置无效
| 申请号： | 201310273546.X | 申请日： | 2013-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104251608A | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 周建国;夏利荣 | 申请（专利权）人： | 常州市立威刀具有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/08 | 分类号： | F26B11/08 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 装置 | ||
【权利要求书】：
1.硅片甩干装置，其特征在于：包括上端开口、下端密封的壳体，壳体内设置有旋转桶，以及驱动旋转桶旋转的驱动机构，所述旋转桶上具有容放硅片的容置腔，旋转桶上开有出水孔，出水孔与容置腔连通，所述容置腔内周壁还设有对硅片进行限位的限位柱。
2.根据权利要求1所述的硅片甩干装置，其特征在于：所述壳体内横向设有分隔板，所述风隔板将壳体分为放置旋转桶的甩干上腔、放置驱动机构的驱动下腔，驱动机构的输出端穿过分隔板伸入甩干腔内。
3.根据权利要求2所述的硅片甩干装置，其特征在于：所述分隔板的上端面为锥形面。
4.根据权利要求2或3所述的硅片甩干装置，其特征在于：所述驱动机构伸入甩干上腔的输出端设置有旋转盘，所述旋转桶固定设置在旋转盘上。
5.根据权利要求1所述的硅片甩干装置，其特征在于：所述限位柱设有四根，其均匀的分布在容置腔内。
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