[发明专利]液体喷射装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201310261729.X | 申请日： | 2013-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104249560A | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 李越 | 申请（专利权）人： | 珠海纳思达企业管理有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045;B41J2/01 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 毕强 |
| 地址： | 519075 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种液体喷射装置及其制造方法，包括：基板表面形成弹性膜；所述弹性膜上开设通透至所述基板表面的缝隙；通过所述缝隙在所述基板上刻蚀形成凹槽；其中，所述弹性膜悬设在所述凹槽上，所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形。本发明技术方案，通过在基板上的弹性膜上开设缝隙，通过缝隙将基板蚀刻出凹槽，弹性膜悬设在所述凹槽上，本发明先形成弹性膜，不需要通过树脂填充压力室，也不需要高温煅烧，因而能够保证弹性膜的加工精度，不会产生弯曲变形，能够提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 喷射 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种液体喷射装置制造方法，其特征在于，包括：基板表面形成弹性膜；所述弹性膜上开设通透至所述基板表面的缝隙；通过所述缝隙在所述基板上刻蚀形成凹槽；其中，所述弹性膜悬设在所述凹槽上，所述弹性膜在外力作用下能产生弹性变形。
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